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81件の商品がございます。

エフコン

マスフローコントローラー 30LM Air C1030-4S2-30L-Air

●熱式流量センサーにより、温度補正回路無しで高い流量精度です。 ●スタート時のフローサージ現象を抑制します(30秒以上のインターバルが必要)。

●流量(SLM)：30 ●ガス：Air ●流量精度：±2%FS(精度保証範囲15～35℃) ●再現性：±0.2%FS ●流量制御範囲：5～100%FS ●流体：気体 ●使用可能温度：5～50℃ 85%RH以下 ●応答性：6sec ●動作圧力範囲：50～300kPa ●耐圧：1MPa(G) ●外部リークレート：1×10^-7Pa・m3/sec(He)以下 ●接ガス部材質：SUS316・PTFE・フッ素ゴム ●表面処理：機械加工仕上げ ●継手：1/4in.SWL相当 ●入出力：アナログ信号(0～5VDC) ●バルブ形式：N/O ノーマルオープン ●駆動電源：+15VDC±5% 60mA、-15VDC±5% 150mA ●通信方式：アナログ0～5VDC(D-Sub9Pinコネクタ) ●サイズ：160×33.6×105mm ●

品番: 3-8034-01
販売価格(税込): 130,720円
出荷予定日: 通常17営業日メーカーの事情により発送日が遅れる場合がございます。

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エフコン

マスフローコントローラー 30LM N2 C1030-4S2-30L-N2

●流量(SLM)：30 ●ガス：N2 ●流量精度：±2%FS(精度保証範囲15～35℃) ●再現性：±0.2%FS ●流量制御範囲：5～100%FS ●流体：気体 ●使用可能温度：5～50℃ 85%RH以下 ●応答性：6sec ●動作圧力範囲：50～300kPa ●耐圧：1MPa(G) ●外部リークレート：1×10^-7Pa・m3/sec(He)以下 ●接ガス部材質：SUS316・PTFE・フッ素ゴム ●表面処理：機械加工仕上げ ●継手：1/4in.SWL相当 ●入出力：アナログ信号(0～5VDC) ●バルブ形式：N/O ノーマルオープン ●駆動電源：+15VDC±5% 60mA、-15VDC±5% 150mA ●通信方式：アナログ0～5VDC(D-Sub9Pinコネクタ) ●サイズ：160×33.6×105mm ●

品番: 3-8034-02
販売価格(税込): 130,720円
出荷予定日: 通常17営業日メーカーの事情により発送日が遅れる場合がございます。

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エフコン

マスフローコントローラー 30LM Ar C1030-4S2-30L-Ar

●流量(SLM)：30 ●ガス：Ar ●流量精度：±2%FS(精度保証範囲15～35℃) ●再現性：±0.2%FS ●流量制御範囲：5～100%FS ●流体：気体 ●使用可能温度：5～50℃ 85%RH以下 ●応答性：6sec ●動作圧力範囲：50～300kPa ●耐圧：1MPa(G) ●外部リークレート：1×10^-7Pa・m3/sec(He)以下 ●接ガス部材質：SUS316・PTFE・フッ素ゴム ●表面処理：機械加工仕上げ ●継手：1/4in.SWL相当 ●入出力：アナログ信号(0～5VDC) ●バルブ形式：N/O ノーマルオープン ●駆動電源：+15VDC±5% 60mA、-15VDC±5% 150mA ●通信方式：アナログ0～5VDC(D-Sub9Pinコネクタ) ●サイズ：160×33.6×105mm ●

品番: 3-8034-03
販売価格(税込): 130,720円
出荷予定日: 通常17営業日メーカーの事情により発送日が遅れる場合がございます。

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エフコン

マスフローコントローラー 30LM He C1030-4S2-30L-He

●流量(SLM)：30 ●ガス：He ●流量精度：±2%FS(精度保証範囲15～35℃) ●再現性：±0.2%FS ●流量制御範囲：5～100%FS ●流体：気体 ●使用可能温度：5～50℃ 85%RH以下 ●応答性：6sec ●動作圧力範囲：50～300kPa ●耐圧：1MPa(G) ●外部リークレート：1×10^-7Pa・m3/sec(He)以下 ●接ガス部材質：SUS316・PTFE・フッ素ゴム ●表面処理：機械加工仕上げ ●継手：1/4in.SWL相当 ●入出力：アナログ信号(0～5VDC) ●バルブ形式：N/O ノーマルオープン ●駆動電源：+15VDC±5% 60mA、-15VDC±5% 150mA ●通信方式：アナログ0～5VDC(D-Sub9Pinコネクタ) ●サイズ：160×33.6×105mm ●

品番: 3-8034-04
販売価格(税込): 129,736円
出荷予定日: 通常17営業日メーカーの事情により発送日が遅れる場合がございます。

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エフコン

マスフローコントローラー 30LM H2 C1030-4S2-30L-H2

●流量(SLM)：30 ●ガス：H2 ●流量精度：±2%FS(精度保証範囲15～35℃) ●再現性：±0.2%FS ●流量制御範囲：5～100%FS ●流体：気体 ●使用可能温度：5～50℃ 85%RH以下 ●応答性：6sec ●動作圧力範囲：50～300kPa ●耐圧：1MPa(G) ●外部リークレート：1×10^-7Pa・m3/sec(He)以下 ●接ガス部材質：SUS316・PTFE・フッ素ゴム ●表面処理：機械加工仕上げ ●継手：1/4in.SWL相当 ●入出力：アナログ信号(0～5VDC) ●バルブ形式：N/O ノーマルオープン ●駆動電源：+15VDC±5% 60mA、-15VDC±5% 150mA ●通信方式：アナログ0～5VDC(D-Sub9Pinコネクタ) ●サイズ：160×33.6×105mm ●

品番: 3-8034-05
販売価格(税込): 130,720円
出荷予定日: 通常17営業日メーカーの事情により発送日が遅れる場合がございます。

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エフコン

マスフローコントローラー 50LM Air C1050-4S2-50L-Air

●流量(SLM)：50 ●ガス：Air ●流量精度：±2%FS(精度保証範囲15～35℃) ●再現性：±0.2%FS ●流量制御範囲：5～100%FS ●流体：気体 ●使用可能温度：5～50℃ 85%RH以下 ●応答性：6sec ●動作圧力範囲：50～300kPa ●耐圧：1MPa(G) ●外部リークレート：1×10^-7Pa・m3/sec(He)以下 ●接ガス部材質：SUS316・PTFE・フッ素ゴム ●表面処理：機械加工仕上げ ●継手：1/4in.SWL相当 ●入出力：アナログ信号(0～5VDC) ●バルブ形式：N/O ノーマルオープン ●駆動電源：+15VDC±5% 60mA、-15VDC±5% 150mA ●通信方式：アナログ0～5VDC(D-Sub9Pinコネクタ) ●サイズ：160×33.6×105mm ●

品番: 3-8035-01
販売価格(税込): 135,633円
出荷予定日: 通常17営業日メーカーの事情により発送日が遅れる場合がございます。

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エフコン

マスフローコントローラー 50LM N2 C1050-4S2-50L-N2

●流量(SLM)：50 ●ガス：N2 ●流量精度：±2%FS(精度保証範囲15～35℃) ●再現性：±0.2%FS ●流量制御範囲：5～100%FS ●流体：気体 ●使用可能温度：5～50℃ 85%RH以下 ●応答性：6sec ●動作圧力範囲：50～300kPa ●耐圧：1MPa(G) ●外部リークレート：1×10^-7Pa・m3/sec(He)以下 ●接ガス部材質：SUS316・PTFE・フッ素ゴム ●表面処理：機械加工仕上げ ●継手：1/4in.SWL相当 ●入出力：アナログ信号(0～5VDC) ●バルブ形式：N/O ノーマルオープン ●駆動電源：+15VDC±5% 60mA、-15VDC±5% 150mA ●通信方式：アナログ0～5VDC(D-Sub9Pinコネクタ) ●サイズ：160×33.6×105mm ●

品番: 3-8035-02
販売価格(税込): 135,633円
出荷予定日: 通常17営業日メーカーの事情により発送日が遅れる場合がございます。

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エフコン

マスフローコントローラー 50LM Ar C1050-4S2-50L-Ar

●流量(SLM)：50 ●ガス：Ar ●流量精度：±2%FS(精度保証範囲15～35℃) ●再現性：±0.2%FS ●流量制御範囲：5～100%FS ●流体：気体 ●使用可能温度：5～50℃ 85%RH以下 ●応答性：6sec ●動作圧力範囲：50～300kPa ●耐圧：1MPa(G) ●外部リークレート：1×10^-7Pa・m3/sec(He)以下 ●接ガス部材質：SUS316・PTFE・フッ素ゴム ●表面処理：機械加工仕上げ ●継手：1/4in.SWL相当 ●入出力：アナログ信号(0～5VDC) ●バルブ形式：N/O ノーマルオープン ●駆動電源：+15VDC±5% 60mA、-15VDC±5% 150mA ●通信方式：アナログ0～5VDC(D-Sub9Pinコネクタ) ●サイズ：160×33.6×105mm ●

品番: 3-8035-03
販売価格(税込): 135,633円
出荷予定日: 通常17営業日メーカーの事情により発送日が遅れる場合がございます。

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エフコン

マスフローコントローラー 50LM He C1050-4S2-50L-He

●流量(SLM)：50 ●ガス：He ●流量精度：±2%FS(精度保証範囲15～35℃) ●再現性：±0.2%FS ●流量制御範囲：5～100%FS ●流体：気体 ●使用可能温度：5～50℃ 85%RH以下 ●応答性：6sec ●動作圧力範囲：50～300kPa ●耐圧：1MPa(G) ●外部リークレート：1×10^-7Pa・m3/sec(He)以下 ●接ガス部材質：SUS316・PTFE・フッ素ゴム ●表面処理：機械加工仕上げ ●継手：1/4in.SWL相当 ●入出力：アナログ信号(0～5VDC) ●バルブ形式：N/O ノーマルオープン ●駆動電源：+15VDC±5% 60mA、-15VDC±5% 150mA ●通信方式：アナログ0～5VDC(D-Sub9Pinコネクタ) ●サイズ：160×33.6×105mm ●

品番: 3-8035-04
販売価格(税込): 134,651円
出荷予定日: 通常17営業日メーカーの事情により発送日が遅れる場合がございます。

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エフコン

マスフローコントローラー 50LM H2 C1050-4S2-50L-H2

●流量(SLM)：50 ●ガス：H2 ●流量精度：±2%FS(精度保証範囲15～35℃) ●再現性：±0.2%FS ●流量制御範囲：5～100%FS ●流体：気体 ●使用可能温度：5～50℃ 85%RH以下 ●応答性：6sec ●動作圧力範囲：50～300kPa ●耐圧：1MPa(G) ●外部リークレート：1×10^-7Pa・m3/sec(He)以下 ●接ガス部材質：SUS316・PTFE・フッ素ゴム ●表面処理：機械加工仕上げ ●継手：1/4in.SWL相当 ●入出力：アナログ信号(0～5VDC) ●バルブ形式：N/O ノーマルオープン ●駆動電源：+15VDC±5% 60mA、-15VDC±5% 150mA ●通信方式：アナログ0～5VDC(D-Sub9Pinコネクタ) ●サイズ：160×33.6×105mm ●

品番: 3-8035-05
販売価格(税込): 135,633円
出荷予定日: 通常17営業日メーカーの事情により発送日が遅れる場合がございます。

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エフコン

タッチパネル式ガス混合器 CUBE GM-X2

●マスフローコントローラーを使用しているため、圧力・温度の影響を受けにくく安定した混合ガスの供給が可能です。 ●タッチパネル式で設定が容易です。 ●各ラインの流量・時間を設定しプログラム運転が可能です。 ●各ライン流量の上下限設定が可能で警報音通知が可能です。

●混合ライン数：2 ●サイズ（mm）：350×400×280 ●対応ガス：Air・N2・Ar・He・H2（その他ガスはお問い合わせください） ●流量：各ガスF、S、10SCCM～20SLM（但し、各ガスの合計流量が50SLM以下のこと） ●接続：1/4SWL相当 ●入力電源：AC100V ●※ご注文・お見積り依頼時は、使用ガス種・流量をご連絡ください。 ●

品番: 3-8303-01
販売価格(税込): 1,359,600円
出荷予定日: 通常64営業日メーカーの事情により発送日が遅れる場合がございます。

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エフコン

タッチパネル式ガス混合器 CUBE GM-X3

●混合ライン数：3 ●サイズ（mm）：430×400×280 ●対応ガス：Air・N2・Ar・He・H2（その他ガスはお問い合わせください） ●流量：各ガスF、S、10SCCM～20SLM（但し、各ガスの合計流量が50SLM以下のこと） ●接続：1/4SWL相当 ●入力電源：AC100V ●※ご注文・お見積り依頼時は、使用ガス種・流量をご連絡ください。 ●

品番: 3-8303-02
販売価格(税込): 2,039,400円
出荷予定日: 通常64営業日メーカーの事情により発送日が遅れる場合がございます。

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エフコン

タッチパネル式ガス混合器 CUBE GM-X4

●混合ライン数：4 ●サイズ（mm）：510×400×280 ●対応ガス：Air・N2・Ar・He・H2（その他ガスはお問い合わせください） ●流量：各ガスF、S、10SCCM～20SLM（但し、各ガスの合計流量が50SLM以下のこと） ●接続：1/4SWL相当 ●入力電源：AC100V ●※ご注文・お見積り依頼時は、使用ガス種・流量をご連絡ください。 ●

品番: 3-8303-03
販売価格(税込): 2,719,200円
出荷予定日: 通常64営業日メーカーの事情により発送日が遅れる場合がございます。

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エフコン

デジタルマスフローコントローラー（表示設定器一体型） 10SCCM Air C2005

●表示設定器の一体型により本体のみで設定制御が可能です。 ●駆動電源は24VDC単電源（ACアダプタ利用可能）です。 ●デジタル通信：RS485通信機能を搭載しています。 ●積算および流量異常上下限アラーム機能を搭載しています。

●フルスケール流量：10SCCM ●対応ガス：Air ●流量設定：本体表示設定器・イベント出力切替、デジタル／RS485、アナログ／0～5VDC/4.3～20mA ●流量精度：±1％FS（精度保証範囲15～35℃） ●応答時間：≦2sec ●制御流量範囲：2～100％FS ●流量出力信号：本体表示機7セグメントLED　デジタル／RS485、アナログ／0～5VDC/4～20mA ●バルブタイプ：NC（ノーマルクローズ） ●再現性：±0.2％FS ●耐圧力：1MPa ●外部リーク：1×10^-7Pa・m3/secHe ●接ガス部：SUS316、PTFE、フッ素ゴム ●シール部材質：フッ素ゴム ●標準接続継手：1/4inSWL（相当品） ●使用保証温度：5～50℃ ●供給電源電圧/消費電流：24VDC/500mA以上 ●通信方式：デジタル／RS485、アナログ／0～5VDC/4～20mA ●サイズ：127×38×100mm ●※ご注文の際は対応ガスコード表にてガスの指定をお願いします。 ●

品番: 4-1546-01
販売価格(税込): 206,399円
出荷予定日: 通常33営業日メーカーの事情により発送日が遅れる場合がございます。

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エフコン

デジタルマスフローコントローラー（表示設定器一体型） 10SCCM N2 C2005

●フルスケール流量：10SCCM ●対応ガス：N2 ●流量設定：本体表示設定器・イベント出力切替、デジタル／RS485、アナログ／0～5VDC/4.3～20mA ●流量精度：±1％FS（精度保証範囲15～35℃） ●応答時間：≦2sec ●制御流量範囲：2～100％FS ●流量出力信号：本体表示機7セグメントLED　デジタル／RS485、アナログ／0～5VDC/4～20mA ●バルブタイプ：NC（ノーマルクローズ） ●再現性：±0.2％FS ●耐圧力：1MPa ●外部リーク：1×10^-7Pa・m3/secHe ●接ガス部：SUS316、PTFE、フッ素ゴム ●シール部材質：フッ素ゴム ●標準接続継手：1/4inSWL（相当品） ●使用保証温度：5～50℃ ●供給電源電圧/消費電流：24VDC/500mA以上 ●通信方式：デジタル／RS485、アナログ／0～5VDC/4～20mA ●サイズ：127×38×100mm ●※ご注文の際は対応ガスコード表にてガスの指定をお願いします。 ●

品番: 4-1546-02
販売価格(税込): 206,399円
出荷予定日: 通常33営業日メーカーの事情により発送日が遅れる場合がございます。

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エフコン

デジタルマスフローコントローラー（表示設定器一体型） 10SCCM Ar C2005

●フルスケール流量：10SCCM ●対応ガス：Ar ●流量設定：本体表示設定器・イベント出力切替、デジタル／RS485、アナログ／0～5VDC/4.3～20mA ●流量精度：±1％FS（精度保証範囲15～35℃） ●応答時間：≦2sec ●制御流量範囲：2～100％FS ●流量出力信号：本体表示機7セグメントLED　デジタル／RS485、アナログ／0～5VDC/4～20mA ●バルブタイプ：NC（ノーマルクローズ） ●再現性：±0.2％FS ●耐圧力：1MPa ●外部リーク：1×10^-7Pa・m3/secHe ●接ガス部：SUS316、PTFE、フッ素ゴム ●シール部材質：フッ素ゴム ●標準接続継手：1/4inSWL（相当品） ●使用保証温度：5～50℃ ●供給電源電圧/消費電流：24VDC/500mA以上 ●通信方式：デジタル／RS485、アナログ／0～5VDC/4～20mA ●サイズ：127×38×100mm ●※ご注文の際は対応ガスコード表にてガスの指定をお願いします。 ●

品番: 4-1546-03
販売価格(税込): 206,399円
出荷予定日: 通常33営業日メーカーの事情により発送日が遅れる場合がございます。

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数量：

エフコン

デジタルマスフローコントローラー（表示設定器一体型） 10SCCM He C2005

●フルスケール流量：10SCCM ●対応ガス：He ●流量設定：本体表示設定器・イベント出力切替、デジタル／RS485、アナログ／0～5VDC/4.3～20mA ●流量精度：±1％FS（精度保証範囲15～35℃） ●応答時間：≦2sec ●制御流量範囲：2～100％FS ●流量出力信号：本体表示機7セグメントLED　デジタル／RS485、アナログ／0～5VDC/4～20mA ●バルブタイプ：NC（ノーマルクローズ） ●再現性：±0.2％FS ●耐圧力：1MPa ●外部リーク：1×10^-7Pa・m3/secHe ●接ガス部：SUS316、PTFE、フッ素ゴム ●シール部材質：フッ素ゴム ●標準接続継手：1/4inSWL（相当品） ●使用保証温度：5～50℃ ●供給電源電圧/消費電流：24VDC/500mA以上 ●通信方式：デジタル／RS485、アナログ／0～5VDC/4～20mA ●サイズ：127×38×100mm ●※ご注文の際は対応ガスコード表にてガスの指定をお願いします。 ●

品番: 4-1546-04
販売価格(税込): 206,399円
出荷予定日: 通常33営業日メーカーの事情により発送日が遅れる場合がございます。

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エフコン

デジタルマスフローコントローラー（表示設定器一体型） 10SCCM H2 C2005

●フルスケール流量：10SCCM ●対応ガス：H2 ●流量設定：本体表示設定器・イベント出力切替、デジタル／RS485、アナログ／0～5VDC/4.3～20mA ●流量精度：±1％FS（精度保証範囲15～35℃） ●応答時間：≦2sec ●制御流量範囲：2～100％FS ●流量出力信号：本体表示機7セグメントLED　デジタル／RS485、アナログ／0～5VDC/4～20mA ●バルブタイプ：NC（ノーマルクローズ） ●再現性：±0.2％FS ●耐圧力：1MPa ●外部リーク：1×10^-7Pa・m3/secHe ●接ガス部：SUS316、PTFE、フッ素ゴム ●シール部材質：フッ素ゴム ●標準接続継手：1/4inSWL（相当品） ●使用保証温度：5～50℃ ●供給電源電圧/消費電流：24VDC/500mA以上 ●通信方式：デジタル／RS485、アナログ／0～5VDC/4～20mA ●サイズ：127×38×100mm ●※ご注文の際は対応ガスコード表にてガスの指定をお願いします。 ●

品番: 4-1546-05
販売価格(税込): 206,399円
出荷予定日: 通常33営業日メーカーの事情により発送日が遅れる場合がございます。

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エフコン

デジタルマスフローコントローラー（表示設定器一体型） RS485交換ユニット ICS-1M

●RS485交換ユニット ●

品番: 4-1546-11
販売価格(税込): 40,887円
出荷予定日: 通常33営業日メーカーの事情により発送日が遅れる場合がございます。

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エフコン

デジタルマスフローコントローラー（表示設定器一体型） ACアダプタ（C2000シリーズ用）

●ACアダプタ（C2000シリーズ用） ●

品番: 4-1546-12
販売価格(税込): 4,128円
出荷予定日: 通常29営業日メーカーの事情により発送日が遅れる場合がございます。

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エフコン

デジタルマスフローコントローラー（表示設定器一体型） MFC-MFC間ケーブル（C2000シリーズ用）

●MFC-MFC間ケーブル（C2000シリーズ用） ●

品番: 4-1546-13
販売価格(税込): 3,834円
出荷予定日: 通常33営業日メーカーの事情により発送日が遅れる場合がございます。

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エフコン

デジタルマスフローコントローラー（表示設定器一体型）デジタル制御ソフト

●デジタル制御ソフト ●

品番: 4-1546-14
販売価格(税込): 3,244円
出荷予定日: 通常33営業日メーカーの事情により発送日が遅れる場合がございます。

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エフコン

デジタルマスフローコントローラー（表示設定器一体型） 20SCCM Air C2005

●フルスケール流量：20SCCM ●対応ガス：Air ●流量設定：本体表示設定器・イベント出力切替、デジタル／RS485、アナログ／0～5VDC/4.3～20mA ●流量精度：±1％FS（精度保証範囲15～35℃） ●応答時間：≦2sec ●制御流量範囲：2～100％FS ●流量出力信号：本体表示機7セグメントLED　デジタル／RS485、アナログ／0～5VDC/4～20mA ●バルブタイプ：NC（ノーマルクローズ） ●再現性：±0.2％FS ●耐圧力：1MPa ●外部リーク：1×10^-7Pa・m3/secHe ●接ガス部：SUS316、PTFE、フッ素ゴム ●シール部材質：フッ素ゴム ●標準接続継手：1/4inSWL（相当品） ●使用保証温度：5～50℃ ●供給電源電圧/消費電流：24VDC/500mA以上 ●通信方式：デジタル／RS485、アナログ／0～5VDC/4～20mA ●サイズ：127×38×100mm ●※ご注文の際は対応ガスコード表にてガスの指定をお願いします。 ●

品番: 4-1547-01
販売価格(税込): 206,399円
出荷予定日: 通常33営業日メーカーの事情により発送日が遅れる場合がございます。

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エフコン

デジタルマスフローコントローラー（表示設定器一体型） 20SCCM N2 C2005

●フルスケール流量：20SCCM ●対応ガス：N2 ●流量設定：本体表示設定器・イベント出力切替、デジタル／RS485、アナログ／0～5VDC/4.3～20mA ●流量精度：±1％FS（精度保証範囲15～35℃） ●応答時間：≦2sec ●制御流量範囲：2～100％FS ●流量出力信号：本体表示機7セグメントLED　デジタル／RS485、アナログ／0～5VDC/4～20mA ●バルブタイプ：NC（ノーマルクローズ） ●再現性：±0.2％FS ●耐圧力：1MPa ●外部リーク：1×10^-7Pa・m3/secHe ●接ガス部：SUS316、PTFE、フッ素ゴム ●シール部材質：フッ素ゴム ●標準接続継手：1/4inSWL（相当品） ●使用保証温度：5～50℃ ●供給電源電圧/消費電流：24VDC/500mA以上 ●通信方式：デジタル／RS485、アナログ／0～5VDC/4～20mA ●サイズ：127×38×100mm ●※ご注文の際は対応ガスコード表にてガスの指定をお願いします。 ●

品番: 4-1547-02
販売価格(税込): 206,399円
出荷予定日: 通常33営業日メーカーの事情により発送日が遅れる場合がございます。

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エフコン

デジタルマスフローコントローラー（表示設定器一体型） 20SCCM Ar C2005

●フルスケール流量：20SCCM ●対応ガス：Ar ●流量設定：本体表示設定器・イベント出力切替、デジタル／RS485、アナログ／0～5VDC/4.3～20mA ●流量精度：±1％FS（精度保証範囲15～35℃） ●応答時間：≦2sec ●制御流量範囲：2～100％FS ●流量出力信号：本体表示機7セグメントLED　デジタル／RS485、アナログ／0～5VDC/4～20mA ●バルブタイプ：NC（ノーマルクローズ） ●再現性：±0.2％FS ●耐圧力：1MPa ●外部リーク：1×10^-7Pa・m3/secHe ●接ガス部：SUS316、PTFE、フッ素ゴム ●シール部材質：フッ素ゴム ●標準接続継手：1/4inSWL（相当品） ●使用保証温度：5～50℃ ●供給電源電圧/消費電流：24VDC/500mA以上 ●通信方式：デジタル／RS485、アナログ／0～5VDC/4～20mA ●サイズ：127×38×100mm ●※ご注文の際は対応ガスコード表にてガスの指定をお願いします。 ●

品番: 4-1547-03
販売価格(税込): 206,399円
出荷予定日: 通常33営業日メーカーの事情により発送日が遅れる場合がございます。

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エフコン

デジタルマスフローコントローラー（表示設定器一体型） 20SCCM He C2005

●フルスケール流量：20SCCM ●対応ガス：He ●流量設定：本体表示設定器・イベント出力切替、デジタル／RS485、アナログ／0～5VDC/4.3～20mA ●流量精度：±1％FS（精度保証範囲15～35℃） ●応答時間：≦2sec ●制御流量範囲：2～100％FS ●流量出力信号：本体表示機7セグメントLED　デジタル／RS485、アナログ／0～5VDC/4～20mA ●バルブタイプ：NC（ノーマルクローズ） ●再現性：±0.2％FS ●耐圧力：1MPa ●外部リーク：1×10^-7Pa・m3/secHe ●接ガス部：SUS316、PTFE、フッ素ゴム ●シール部材質：フッ素ゴム ●標準接続継手：1/4inSWL（相当品） ●使用保証温度：5～50℃ ●供給電源電圧/消費電流：24VDC/500mA以上 ●通信方式：デジタル／RS485、アナログ／0～5VDC/4～20mA ●サイズ：127×38×100mm ●※ご注文の際は対応ガスコード表にてガスの指定をお願いします。 ●

品番: 4-1547-04
販売価格(税込): 206,399円
出荷予定日: 通常33営業日メーカーの事情により発送日が遅れる場合がございます。

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デジタルマスフローコントローラー（表示設定器一体型） 20SCCM H2 C2005

●フルスケール流量：20SCCM ●対応ガス：H2 ●流量設定：本体表示設定器・イベント出力切替、デジタル／RS485、アナログ／0～5VDC/4.3～20mA ●流量精度：±1％FS（精度保証範囲15～35℃） ●応答時間：≦2sec ●制御流量範囲：2～100％FS ●流量出力信号：本体表示機7セグメントLED　デジタル／RS485、アナログ／0～5VDC/4～20mA ●バルブタイプ：NC（ノーマルクローズ） ●再現性：±0.2％FS ●耐圧力：1MPa ●外部リーク：1×10^-7Pa・m3/secHe ●接ガス部：SUS316、PTFE、フッ素ゴム ●シール部材質：フッ素ゴム ●標準接続継手：1/4inSWL（相当品） ●使用保証温度：5～50℃ ●供給電源電圧/消費電流：24VDC/500mA以上 ●通信方式：デジタル／RS485、アナログ／0～5VDC/4～20mA ●サイズ：127×38×100mm ●※ご注文の際は対応ガスコード表にてガスの指定をお願いします。 ●

品番: 4-1547-05
販売価格(税込): 206,399円
出荷予定日: 通常33営業日メーカーの事情により発送日が遅れる場合がございます。

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デジタルマスフローコントローラー（表示設定器一体型） 50SCCM Air C2005

●フルスケール流量：50SCCM ●対応ガス：Air ●流量設定：本体表示設定器・イベント出力切替、デジタル／RS485、アナログ／0～5VDC/4.3～20mA ●流量精度：±1％FS（精度保証範囲15～35℃） ●応答時間：≦2sec ●制御流量範囲：2～100％FS ●流量出力信号：本体表示機7セグメントLED　デジタル／RS485、アナログ／0～5VDC/4～20mA ●バルブタイプ：NC（ノーマルクローズ） ●再現性：±0.2％FS ●耐圧力：1MPa ●外部リーク：1×10^-7Pa・m3/secHe ●接ガス部：SUS316、PTFE、フッ素ゴム ●シール部材質：フッ素ゴム ●標準接続継手：1/4inSWL（相当品） ●使用保証温度：5～50℃ ●供給電源電圧/消費電流：24VDC/500mA以上 ●通信方式：デジタル／RS485、アナログ／0～5VDC/4～20mA ●サイズ：127×38×100mm ●※ご注文の際は対応ガスコード表にてガスの指定をお願いします。 ●

品番: 4-1548-01
販売価格(税込): 206,399円
出荷予定日: 通常33営業日メーカーの事情により発送日が遅れる場合がございます。

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デジタルマスフローコントローラー（表示設定器一体型） 50SCCM N2 C2005

●フルスケール流量：50SCCM ●対応ガス：N2 ●流量設定：本体表示設定器・イベント出力切替、デジタル／RS485、アナログ／0～5VDC/4.3～20mA ●流量精度：±1％FS（精度保証範囲15～35℃） ●応答時間：≦2sec ●制御流量範囲：2～100％FS ●流量出力信号：本体表示機7セグメントLED　デジタル／RS485、アナログ／0～5VDC/4～20mA ●バルブタイプ：NC（ノーマルクローズ） ●再現性：±0.2％FS ●耐圧力：1MPa ●外部リーク：1×10^-7Pa・m3/secHe ●接ガス部：SUS316、PTFE、フッ素ゴム ●シール部材質：フッ素ゴム ●標準接続継手：1/4inSWL（相当品） ●使用保証温度：5～50℃ ●供給電源電圧/消費電流：24VDC/500mA以上 ●通信方式：デジタル／RS485、アナログ／0～5VDC/4～20mA ●サイズ：127×38×100mm ●※ご注文の際は対応ガスコード表にてガスの指定をお願いします。 ●

品番: 4-1548-02
販売価格(税込): 206,399円
出荷予定日: 通常33営業日メーカーの事情により発送日が遅れる場合がございます。

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デジタルマスフローコントローラー（表示設定器一体型） 50SCCM Ar C2005

●フルスケール流量：50SCCM ●対応ガス：Ar ●流量設定：本体表示設定器・イベント出力切替、デジタル／RS485、アナログ／0～5VDC/4.3～20mA ●流量精度：±1％FS（精度保証範囲15～35℃） ●応答時間：≦2sec ●制御流量範囲：2～100％FS ●流量出力信号：本体表示機7セグメントLED　デジタル／RS485、アナログ／0～5VDC/4～20mA ●バルブタイプ：NC（ノーマルクローズ） ●再現性：±0.2％FS ●耐圧力：1MPa ●外部リーク：1×10^-7Pa・m3/secHe ●接ガス部：SUS316、PTFE、フッ素ゴム ●シール部材質：フッ素ゴム ●標準接続継手：1/4inSWL（相当品） ●使用保証温度：5～50℃ ●供給電源電圧/消費電流：24VDC/500mA以上 ●通信方式：デジタル／RS485、アナログ／0～5VDC/4～20mA ●サイズ：127×38×100mm ●※ご注文の際は対応ガスコード表にてガスの指定をお願いします。 ●

品番: 4-1548-03
販売価格(税込): 206,399円
出荷予定日: 通常33営業日メーカーの事情により発送日が遅れる場合がございます。

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デジタルマスフローコントローラー（表示設定器一体型） 50SCCM He C2005

●フルスケール流量：50SCCM ●対応ガス：He ●流量設定：本体表示設定器・イベント出力切替、デジタル／RS485、アナログ／0～5VDC/4.3～20mA ●流量精度：±1％FS（精度保証範囲15～35℃） ●応答時間：≦2sec ●制御流量範囲：2～100％FS ●流量出力信号：本体表示機7セグメントLED　デジタル／RS485、アナログ／0～5VDC/4～20mA ●バルブタイプ：NC（ノーマルクローズ） ●再現性：±0.2％FS ●耐圧力：1MPa ●外部リーク：1×10^-7Pa・m3/secHe ●接ガス部：SUS316、PTFE、フッ素ゴム ●シール部材質：フッ素ゴム ●標準接続継手：1/4inSWL（相当品） ●使用保証温度：5～50℃ ●供給電源電圧/消費電流：24VDC/500mA以上 ●通信方式：デジタル／RS485、アナログ／0～5VDC/4～20mA ●サイズ：127×38×100mm ●※ご注文の際は対応ガスコード表にてガスの指定をお願いします。 ●

品番: 4-1548-04
販売価格(税込): 206,399円
出荷予定日: 通常33営業日メーカーの事情により発送日が遅れる場合がございます。

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デジタルマスフローコントローラー（表示設定器一体型） 50SCCM H2 C2005

●フルスケール流量：50SCCM ●対応ガス：H2 ●流量設定：本体表示設定器・イベント出力切替、デジタル／RS485、アナログ／0～5VDC/4.3～20mA ●流量精度：±1％FS（精度保証範囲15～35℃） ●応答時間：≦2sec ●制御流量範囲：2～100％FS ●流量出力信号：本体表示機7セグメントLED　デジタル／RS485、アナログ／0～5VDC/4～20mA ●バルブタイプ：NC（ノーマルクローズ） ●再現性：±0.2％FS ●耐圧力：1MPa ●外部リーク：1×10^-7Pa・m3/secHe ●接ガス部：SUS316、PTFE、フッ素ゴム ●シール部材質：フッ素ゴム ●標準接続継手：1/4inSWL（相当品） ●使用保証温度：5～50℃ ●供給電源電圧/消費電流：24VDC/500mA以上 ●通信方式：デジタル／RS485、アナログ／0～5VDC/4～20mA ●サイズ：127×38×100mm ●※ご注文の際は対応ガスコード表にてガスの指定をお願いします。 ●

品番: 4-1548-05
販売価格(税込): 206,399円
出荷予定日: 通常33営業日メーカーの事情により発送日が遅れる場合がございます。

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デジタルマスフローコントローラー（表示設定器一体型） 100SCCM Air C2005

●フルスケール流量：100SCCM ●対応ガス：Air ●流量設定：本体表示設定器・イベント出力切替、デジタル／RS485、アナログ／0～5VDC/4.3～20mA ●流量精度：±1％FS（精度保証範囲15～35℃） ●応答時間：≦2sec ●制御流量範囲：2～100％FS ●流量出力信号：本体表示機7セグメントLED　デジタル／RS485、アナログ／0～5VDC/4～20mA ●バルブタイプ：NC（ノーマルクローズ） ●再現性：±0.2％FS ●耐圧力：1MPa ●外部リーク：1×10^-7Pa・m3/secHe ●接ガス部：SUS316、PTFE、フッ素ゴム ●シール部材質：フッ素ゴム ●標準接続継手：1/4inSWL（相当品） ●使用保証温度：5～50℃ ●供給電源電圧/消費電流：24VDC/500mA以上 ●通信方式：デジタル／RS485、アナログ／0～5VDC/4～20mA ●サイズ：127×38×100mm ●※ご注文の際は対応ガスコード表にてガスの指定をお願いします。 ●

品番: 4-1549-01
販売価格(税込): 206,399円
出荷予定日: 通常33営業日メーカーの事情により発送日が遅れる場合がございます。

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デジタルマスフローコントローラー（表示設定器一体型） 100SCCM N2 C2005

●フルスケール流量：100SCCM ●対応ガス：N2 ●流量設定：本体表示設定器・イベント出力切替、デジタル／RS485、アナログ／0～5VDC/4.3～20mA ●流量精度：±1％FS（精度保証範囲15～35℃） ●応答時間：≦2sec ●制御流量範囲：2～100％FS ●流量出力信号：本体表示機7セグメントLED　デジタル／RS485、アナログ／0～5VDC/4～20mA ●バルブタイプ：NC（ノーマルクローズ） ●再現性：±0.2％FS ●耐圧力：1MPa ●外部リーク：1×10^-7Pa・m3/secHe ●接ガス部：SUS316、PTFE、フッ素ゴム ●シール部材質：フッ素ゴム ●標準接続継手：1/4inSWL（相当品） ●使用保証温度：5～50℃ ●供給電源電圧/消費電流：24VDC/500mA以上 ●通信方式：デジタル／RS485、アナログ／0～5VDC/4～20mA ●サイズ：127×38×100mm ●※ご注文の際は対応ガスコード表にてガスの指定をお願いします。 ●

品番: 4-1549-02
販売価格(税込): 206,399円
出荷予定日: 通常29営業日メーカーの事情により発送日が遅れる場合がございます。

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デジタルマスフローコントローラー（表示設定器一体型） 100SCCM Ar C2005

●フルスケール流量：100SCCM ●対応ガス：Ar ●流量設定：本体表示設定器・イベント出力切替、デジタル／RS485、アナログ／0～5VDC/4.3～20mA ●流量精度：±1％FS（精度保証範囲15～35℃） ●応答時間：≦2sec ●制御流量範囲：2～100％FS ●流量出力信号：本体表示機7セグメントLED　デジタル／RS485、アナログ／0～5VDC/4～20mA ●バルブタイプ：NC（ノーマルクローズ） ●再現性：±0.2％FS ●耐圧力：1MPa ●外部リーク：1×10^-7Pa・m3/secHe ●接ガス部：SUS316、PTFE、フッ素ゴム ●シール部材質：フッ素ゴム ●標準接続継手：1/4inSWL（相当品） ●使用保証温度：5～50℃ ●供給電源電圧/消費電流：24VDC/500mA以上 ●通信方式：デジタル／RS485、アナログ／0～5VDC/4～20mA ●サイズ：127×38×100mm ●※ご注文の際は対応ガスコード表にてガスの指定をお願いします。 ●

品番: 4-1549-03
販売価格(税込): 206,399円
出荷予定日: 通常33営業日メーカーの事情により発送日が遅れる場合がございます。

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デジタルマスフローコントローラー（表示設定器一体型） 100SCCM He C2005

●フルスケール流量：100SCCM ●対応ガス：He ●流量設定：本体表示設定器・イベント出力切替、デジタル／RS485、アナログ／0～5VDC/4.3～20mA ●流量精度：±1％FS（精度保証範囲15～35℃） ●応答時間：≦2sec ●制御流量範囲：2～100％FS ●流量出力信号：本体表示機7セグメントLED　デジタル／RS485、アナログ／0～5VDC/4～20mA ●バルブタイプ：NC（ノーマルクローズ） ●再現性：±0.2％FS ●耐圧力：1MPa ●外部リーク：1×10^-7Pa・m3/secHe ●接ガス部：SUS316、PTFE、フッ素ゴム ●シール部材質：フッ素ゴム ●標準接続継手：1/4inSWL（相当品） ●使用保証温度：5～50℃ ●供給電源電圧/消費電流：24VDC/500mA以上 ●通信方式：デジタル／RS485、アナログ／0～5VDC/4～20mA ●サイズ：127×38×100mm ●※ご注文の際は対応ガスコード表にてガスの指定をお願いします。 ●

品番: 4-1549-04
販売価格(税込): 206,399円
出荷予定日: 通常33営業日メーカーの事情により発送日が遅れる場合がございます。

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デジタルマスフローコントローラー（表示設定器一体型） 100SCCM H2 C2005

●フルスケール流量：100SCCM ●対応ガス：H2 ●流量設定：本体表示設定器・イベント出力切替、デジタル／RS485、アナログ／0～5VDC/4.3～20mA ●流量精度：±1％FS（精度保証範囲15～35℃） ●応答時間：≦2sec ●制御流量範囲：2～100％FS ●流量出力信号：本体表示機7セグメントLED　デジタル／RS485、アナログ／0～5VDC/4～20mA ●バルブタイプ：NC（ノーマルクローズ） ●再現性：±0.2％FS ●耐圧力：1MPa ●外部リーク：1×10^-7Pa・m3/secHe ●接ガス部：SUS316、PTFE、フッ素ゴム ●シール部材質：フッ素ゴム ●標準接続継手：1/4inSWL（相当品） ●使用保証温度：5～50℃ ●供給電源電圧/消費電流：24VDC/500mA以上 ●通信方式：デジタル／RS485、アナログ／0～5VDC/4～20mA ●サイズ：127×38×100mm ●※ご注文の際は対応ガスコード表にてガスの指定をお願いします。 ●

品番: 4-1549-05
販売価格(税込): 206,399円
出荷予定日: 通常33営業日メーカーの事情により発送日が遅れる場合がございます。

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デジタルマスフローコントローラー（表示設定器一体型） 200SCCM Air C2005

●フルスケール流量：200SCCM ●対応ガス：Air ●流量設定：本体表示設定器・イベント出力切替、デジタル／RS485、アナログ／0～5VDC/4.3～20mA ●流量精度：±1％FS（精度保証範囲15～35℃） ●応答時間：≦2sec ●制御流量範囲：2～100％FS ●流量出力信号：本体表示機7セグメントLED　デジタル／RS485、アナログ／0～5VDC/4～20mA ●バルブタイプ：NC（ノーマルクローズ） ●再現性：±0.2％FS ●耐圧力：1MPa ●外部リーク：1×10^-7Pa・m3/secHe ●接ガス部：SUS316、PTFE、フッ素ゴム ●シール部材質：フッ素ゴム ●標準接続継手：1/4inSWL（相当品） ●使用保証温度：5～50℃ ●供給電源電圧/消費電流：24VDC/500mA以上 ●通信方式：デジタル／RS485、アナログ／0～5VDC/4～20mA ●サイズ：127×38×100mm ●※ご注文の際は対応ガスコード表にてガスの指定をお願いします。 ●

品番: 4-1550-01
販売価格(税込): 206,399円
出荷予定日: 通常33営業日メーカーの事情により発送日が遅れる場合がございます。

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デジタルマスフローコントローラー（表示設定器一体型） 200SCCM N2 C2005

●フルスケール流量：200SCCM ●対応ガス：N2 ●流量設定：本体表示設定器・イベント出力切替、デジタル／RS485、アナログ／0～5VDC/4.3～20mA ●流量精度：±1％FS（精度保証範囲15～35℃） ●応答時間：≦2sec ●制御流量範囲：2～100％FS ●流量出力信号：本体表示機7セグメントLED　デジタル／RS485、アナログ／0～5VDC/4～20mA ●バルブタイプ：NC（ノーマルクローズ） ●再現性：±0.2％FS ●耐圧力：1MPa ●外部リーク：1×10^-7Pa・m3/secHe ●接ガス部：SUS316、PTFE、フッ素ゴム ●シール部材質：フッ素ゴム ●標準接続継手：1/4inSWL（相当品） ●使用保証温度：5～50℃ ●供給電源電圧/消費電流：24VDC/500mA以上 ●通信方式：デジタル／RS485、アナログ／0～5VDC/4～20mA ●サイズ：127×38×100mm ●※ご注文の際は対応ガスコード表にてガスの指定をお願いします。 ●

品番: 4-1550-02
販売価格(税込): 206,399円
出荷予定日: 通常33営業日メーカーの事情により発送日が遅れる場合がございます。

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デジタルマスフローコントローラー（表示設定器一体型） 200SCCM Ar C2005

●フルスケール流量：200SCCM ●対応ガス：Ar ●流量設定：本体表示設定器・イベント出力切替、デジタル／RS485、アナログ／0～5VDC/4.3～20mA ●流量精度：±1％FS（精度保証範囲15～35℃） ●応答時間：≦2sec ●制御流量範囲：2～100％FS ●流量出力信号：本体表示機7セグメントLED　デジタル／RS485、アナログ／0～5VDC/4～20mA ●バルブタイプ：NC（ノーマルクローズ） ●再現性：±0.2％FS ●耐圧力：1MPa ●外部リーク：1×10^-7Pa・m3/secHe ●接ガス部：SUS316、PTFE、フッ素ゴム ●シール部材質：フッ素ゴム ●標準接続継手：1/4inSWL（相当品） ●使用保証温度：5～50℃ ●供給電源電圧/消費電流：24VDC/500mA以上 ●通信方式：デジタル／RS485、アナログ／0～5VDC/4～20mA ●サイズ：127×38×100mm ●※ご注文の際は対応ガスコード表にてガスの指定をお願いします。 ●

品番: 4-1550-03
販売価格(税込): 206,399円
出荷予定日: 通常33営業日メーカーの事情により発送日が遅れる場合がございます。

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デジタルマスフローコントローラー（表示設定器一体型） 200SCCM He C2005

●フルスケール流量：200SCCM ●対応ガス：He ●流量設定：本体表示設定器・イベント出力切替、デジタル／RS485、アナログ／0～5VDC/4.3～20mA ●流量精度：±1％FS（精度保証範囲15～35℃） ●応答時間：≦2sec ●制御流量範囲：2～100％FS ●流量出力信号：本体表示機7セグメントLED　デジタル／RS485、アナログ／0～5VDC/4～20mA ●バルブタイプ：NC（ノーマルクローズ） ●再現性：±0.2％FS ●耐圧力：1MPa ●外部リーク：1×10^-7Pa・m3/secHe ●接ガス部：SUS316、PTFE、フッ素ゴム ●シール部材質：フッ素ゴム ●標準接続継手：1/4inSWL（相当品） ●使用保証温度：5～50℃ ●供給電源電圧/消費電流：24VDC/500mA以上 ●通信方式：デジタル／RS485、アナログ／0～5VDC/4～20mA ●サイズ：127×38×100mm ●※ご注文の際は対応ガスコード表にてガスの指定をお願いします。 ●

品番: 4-1550-04
販売価格(税込): 206,399円
出荷予定日: 通常33営業日メーカーの事情により発送日が遅れる場合がございます。

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デジタルマスフローコントローラー（表示設定器一体型） 200SCCM H2 C2005

●フルスケール流量：200SCCM ●対応ガス：H2 ●流量設定：本体表示設定器・イベント出力切替、デジタル／RS485、アナログ／0～5VDC/4.3～20mA ●流量精度：±1％FS（精度保証範囲15～35℃） ●応答時間：≦2sec ●制御流量範囲：2～100％FS ●流量出力信号：本体表示機7セグメントLED　デジタル／RS485、アナログ／0～5VDC/4～20mA ●バルブタイプ：NC（ノーマルクローズ） ●再現性：±0.2％FS ●耐圧力：1MPa ●外部リーク：1×10^-7Pa・m3/secHe ●接ガス部：SUS316、PTFE、フッ素ゴム ●シール部材質：フッ素ゴム ●標準接続継手：1/4inSWL（相当品） ●使用保証温度：5～50℃ ●供給電源電圧/消費電流：24VDC/500mA以上 ●通信方式：デジタル／RS485、アナログ／0～5VDC/4～20mA ●サイズ：127×38×100mm ●※ご注文の際は対応ガスコード表にてガスの指定をお願いします。 ●

品番: 4-1550-05
販売価格(税込): 206,399円
出荷予定日: 通常33営業日メーカーの事情により発送日が遅れる場合がございます。

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デジタルマスフローコントローラー（表示設定器一体型） 500SCCM Air C2005

●フルスケール流量：500SCCM ●対応ガス：Air ●流量設定：本体表示設定器・イベント出力切替、デジタル／RS485、アナログ／0～5VDC/4.3～20mA ●流量精度：±1％FS（精度保証範囲15～35℃） ●応答時間：≦2sec ●制御流量範囲：2～100％FS ●流量出力信号：本体表示機7セグメントLED　デジタル／RS485、アナログ／0～5VDC/4～20mA ●バルブタイプ：NC（ノーマルクローズ） ●再現性：±0.2％FS ●耐圧力：1MPa ●外部リーク：1×10^-7Pa・m3/secHe ●接ガス部：SUS316、PTFE、フッ素ゴム ●シール部材質：フッ素ゴム ●標準接続継手：1/4inSWL（相当品） ●使用保証温度：5～50℃ ●供給電源電圧/消費電流：24VDC/500mA以上 ●通信方式：デジタル／RS485、アナログ／0～5VDC/4～20mA ●サイズ：127×38×100mm ●※ご注文の際は対応ガスコード表にてガスの指定をお願いします。 ●

品番: 4-1551-01
販売価格(税込): 206,399円
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デジタルマスフローコントローラー（表示設定器一体型） 500SCCM N2 C2005

●フルスケール流量：500SCCM ●対応ガス：N2 ●流量設定：本体表示設定器・イベント出力切替、デジタル／RS485、アナログ／0～5VDC/4.3～20mA ●流量精度：±1％FS（精度保証範囲15～35℃） ●応答時間：≦2sec ●制御流量範囲：2～100％FS ●流量出力信号：本体表示機7セグメントLED　デジタル／RS485、アナログ／0～5VDC/4～20mA ●バルブタイプ：NC（ノーマルクローズ） ●再現性：±0.2％FS ●耐圧力：1MPa ●外部リーク：1×10^-7Pa・m3/secHe ●接ガス部：SUS316、PTFE、フッ素ゴム ●シール部材質：フッ素ゴム ●標準接続継手：1/4inSWL（相当品） ●使用保証温度：5～50℃ ●供給電源電圧/消費電流：24VDC/500mA以上 ●通信方式：デジタル／RS485、アナログ／0～5VDC/4～20mA ●サイズ：127×38×100mm ●※ご注文の際は対応ガスコード表にてガスの指定をお願いします。 ●

品番: 4-1551-02
販売価格(税込): 206,399円
出荷予定日: 通常29営業日メーカーの事情により発送日が遅れる場合がございます。

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デジタルマスフローコントローラー（表示設定器一体型） 500SCCM Ar C2005

●フルスケール流量：500SCCM ●対応ガス：Ar ●流量設定：本体表示設定器・イベント出力切替、デジタル／RS485、アナログ／0～5VDC/4.3～20mA ●流量精度：±1％FS（精度保証範囲15～35℃） ●応答時間：≦2sec ●制御流量範囲：2～100％FS ●流量出力信号：本体表示機7セグメントLED　デジタル／RS485、アナログ／0～5VDC/4～20mA ●バルブタイプ：NC（ノーマルクローズ） ●再現性：±0.2％FS ●耐圧力：1MPa ●外部リーク：1×10^-7Pa・m3/secHe ●接ガス部：SUS316、PTFE、フッ素ゴム ●シール部材質：フッ素ゴム ●標準接続継手：1/4inSWL（相当品） ●使用保証温度：5～50℃ ●供給電源電圧/消費電流：24VDC/500mA以上 ●通信方式：デジタル／RS485、アナログ／0～5VDC/4～20mA ●サイズ：127×38×100mm ●※ご注文の際は対応ガスコード表にてガスの指定をお願いします。 ●

品番: 4-1551-03
販売価格(税込): 206,399円
出荷予定日: 通常33営業日メーカーの事情により発送日が遅れる場合がございます。

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デジタルマスフローコントローラー（表示設定器一体型） 500SCCM He C2005

●フルスケール流量：500SCCM ●対応ガス：He ●流量設定：本体表示設定器・イベント出力切替、デジタル／RS485、アナログ／0～5VDC/4.3～20mA ●流量精度：±1％FS（精度保証範囲15～35℃） ●応答時間：≦2sec ●制御流量範囲：2～100％FS ●流量出力信号：本体表示機7セグメントLED　デジタル／RS485、アナログ／0～5VDC/4～20mA ●バルブタイプ：NC（ノーマルクローズ） ●再現性：±0.2％FS ●耐圧力：1MPa ●外部リーク：1×10^-7Pa・m3/secHe ●接ガス部：SUS316、PTFE、フッ素ゴム ●シール部材質：フッ素ゴム ●標準接続継手：1/4inSWL（相当品） ●使用保証温度：5～50℃ ●供給電源電圧/消費電流：24VDC/500mA以上 ●通信方式：デジタル／RS485、アナログ／0～5VDC/4～20mA ●サイズ：127×38×100mm ●※ご注文の際は対応ガスコード表にてガスの指定をお願いします。 ●

品番: 4-1551-04
販売価格(税込): 206,399円
出荷予定日: 通常33営業日メーカーの事情により発送日が遅れる場合がございます。

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数量：

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デジタルマスフローコントローラー（表示設定器一体型） 500SCCM H2 C2005

●フルスケール流量：500SCCM ●対応ガス：H2 ●流量設定：本体表示設定器・イベント出力切替、デジタル／RS485、アナログ／0～5VDC/4.3～20mA ●流量精度：±1％FS（精度保証範囲15～35℃） ●応答時間：≦2sec ●制御流量範囲：2～100％FS ●流量出力信号：本体表示機7セグメントLED　デジタル／RS485、アナログ／0～5VDC/4～20mA ●バルブタイプ：NC（ノーマルクローズ） ●再現性：±0.2％FS ●耐圧力：1MPa ●外部リーク：1×10^-7Pa・m3/secHe ●接ガス部：SUS316、PTFE、フッ素ゴム ●シール部材質：フッ素ゴム ●標準接続継手：1/4inSWL（相当品） ●使用保証温度：5～50℃ ●供給電源電圧/消費電流：24VDC/500mA以上 ●通信方式：デジタル／RS485、アナログ／0～5VDC/4～20mA ●サイズ：127×38×100mm ●※ご注文の際は対応ガスコード表にてガスの指定をお願いします。 ●

品番: 4-1551-05
販売価格(税込): 206,399円
出荷予定日: 通常33営業日メーカーの事情により発送日が遅れる場合がございます。

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デジタルマスフローコントローラー（表示設定器一体型） 1SLM Air C2005

●フルスケール流量：1SLM ●対応ガス：Air ●流量設定：本体表示設定器・イベント出力切替、デジタル／RS485、アナログ／0～5VDC/4.3～20mA ●流量精度：±1％FS（精度保証範囲15～35℃） ●応答時間：≦2sec ●制御流量範囲：2～100％FS ●流量出力信号：本体表示機7セグメントLED　デジタル／RS485、アナログ／0～5VDC/4～20mA ●バルブタイプ：NC（ノーマルクローズ） ●再現性：±0.2％FS ●耐圧力：1MPa ●外部リーク：1×10^-7Pa・m3/secHe ●接ガス部：SUS316、PTFE、フッ素ゴム ●シール部材質：フッ素ゴム ●標準接続継手：1/4inSWL（相当品） ●使用保証温度：5～50℃ ●供給電源電圧/消費電流：24VDC/500mA以上 ●通信方式：デジタル／RS485、アナログ／0～5VDC/4～20mA ●サイズ：127×38×100mm ●※ご注文の際は対応ガスコード表にてガスの指定をお願いします。 ●

品番: 4-1552-01
販売価格(税込): 206,399円
出荷予定日: 通常33営業日メーカーの事情により発送日が遅れる場合がございます。

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デジタルマスフローコントローラー（表示設定器一体型） 1SLM N2 C2005

●フルスケール流量：1SLM ●対応ガス：N2 ●流量設定：本体表示設定器・イベント出力切替、デジタル／RS485、アナログ／0～5VDC/4.3～20mA ●流量精度：±1％FS（精度保証範囲15～35℃） ●応答時間：≦2sec ●制御流量範囲：2～100％FS ●流量出力信号：本体表示機7セグメントLED　デジタル／RS485、アナログ／0～5VDC/4～20mA ●バルブタイプ：NC（ノーマルクローズ） ●再現性：±0.2％FS ●耐圧力：1MPa ●外部リーク：1×10^-7Pa・m3/secHe ●接ガス部：SUS316、PTFE、フッ素ゴム ●シール部材質：フッ素ゴム ●標準接続継手：1/4inSWL（相当品） ●使用保証温度：5～50℃ ●供給電源電圧/消費電流：24VDC/500mA以上 ●通信方式：デジタル／RS485、アナログ／0～5VDC/4～20mA ●サイズ：127×38×100mm ●※ご注文の際は対応ガスコード表にてガスの指定をお願いします。 ●

品番: 4-1552-02
販売価格(税込): 206,399円
出荷予定日: 通常33営業日メーカーの事情により発送日が遅れる場合がございます。

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デジタルマスフローコントローラー（表示設定器一体型） 1SLM Ar C2005

●フルスケール流量：1SLM ●対応ガス：Ar ●流量設定：本体表示設定器・イベント出力切替、デジタル／RS485、アナログ／0～5VDC/4.3～20mA ●流量精度：±1％FS（精度保証範囲15～35℃） ●応答時間：≦2sec ●制御流量範囲：2～100％FS ●流量出力信号：本体表示機7セグメントLED　デジタル／RS485、アナログ／0～5VDC/4～20mA ●バルブタイプ：NC（ノーマルクローズ） ●再現性：±0.2％FS ●耐圧力：1MPa ●外部リーク：1×10^-7Pa・m3/secHe ●接ガス部：SUS316、PTFE、フッ素ゴム ●シール部材質：フッ素ゴム ●標準接続継手：1/4inSWL（相当品） ●使用保証温度：5～50℃ ●供給電源電圧/消費電流：24VDC/500mA以上 ●通信方式：デジタル／RS485、アナログ／0～5VDC/4～20mA ●サイズ：127×38×100mm ●※ご注文の際は対応ガスコード表にてガスの指定をお願いします。 ●

品番: 4-1552-03
販売価格(税込): 206,399円
出荷予定日: 通常33営業日メーカーの事情により発送日が遅れる場合がございます。

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